Organosilicijski intermedijer · Sililacijsko sredstvo
heksametildisilazan (HMDS)
(bis(trimetilsilil)amin / bezvodni HMDS)
| CAS br. | 999-97-3 |
| IUPAC naziv | 1,1,1,3,3,3-heksametildisilazan |
| Sinonimi | HMDS, heksa metil disilazan, 1,1,1,3,3,3-heksametildisilazan, bis(trimetilsilil)amin, heksametilsilazan, N-(trimetilsilil)trimetilsililamin |
| Molekularna formula | C₆H₁₉NSi₂ [(CH3)3Si–NH–Si(CH3)3] |
| Molekulska težina | 161,39 g/mol |
| HS oznaka | 2931900090 |
| Dostupna ocjena | Industrijski Farmaceutski Elektronički (5N / 6N) |
Što je heksametildisilazan (HMDS)? Pregled
heksametildisilazan (HMDS), također napisano kaoheksa metil disilazanili1,1,1,3,3,3-heksametildisilazan(CAS 999-97-3), bezbojan je, vrlo hlapljiv organosilikonski spoj s karakterističnim mirisom poput amonijaka.HMDS puni obrazac:Heksametildisilazan - naziv koji odražava njegovu strukturu dviju trimetilsililnih skupina premoštenih atomom dušika:(CH3)3Si–NH–Si(CH3)3. Ova jedinstvena disilazanska arhitektura omogućuje učinkovitu sililaciju protonskih funkcionalnih skupina (hidroksil, amino, karboksil) i izvanrednu hidrofobizaciju površine, čineći HMDS nezamjenjivim kemijskim reagensom u industriji poluvodičke litografije, farmaceutske sinteze, naprednih materijala i obrade površina.
Za razliku od tradicionalnih sredstava za sililiranje kao što je trimetilklorosilan (TMCS), HMDS nudi blaže reakcijske uvjete, veći prinos sililacije i značajno niže -generiranje nusproizvoda - kritične prednosti za vrhunsku-proizvodnju gdje se zahtijeva stroga čistoća i čistoća procesa. HMDS brzo reagira s vlagom oslobađajući amonijak, tako da se svim vrstama mora rukovati i skladištiti pod zaštitom dušika.
Partneri smo s vodećim kineskim proizvođačima - uključujući pogone certificirane od strane SMIC i Yangtze Memory - za isporuku HMDS industrijske, farmaceutske i elektroničke kvalitete po konkurentnim cijenama, s fleksibilnim pakiranjem od bačvi s reagensima na razini grama- do industrijskih IBC torbi, opslužujući kupce u Europi, Sjevernoj Americi, jugoistočnoj Aziji i na Bliskom istoku.
Fizička i kemijska svojstva HMDS-a
HMDS specifikacije - Svi stupnjevi
| Specifikacija | Industrijski stupanj Površinska obrada / punila |
Farmaceutski stupanj Sinteza lijekova (GMP) |
Elektronička ocjena Poluvodička litografija |
|---|---|---|---|
| Čistoća (GC) | Veći ili jednak 98,0% | Veći ili jednak 99,5% | Veći ili jednak 99,999% (5N) do 6N za napredne čvorove |
| Sadržaj vode | Manje od ili jednako 0,1% | Manje od ili jednako 0,02% | Manje od ili jednako 0,005% (Manje od ili jednako 50 ppm) |
| Boja (Pt-Co) | Manje od ili jednako 30 | Manje od ili jednako 10 | Manje od ili jednako 5 |
| Vrelište | 125-127 stupnjeva | 126,0–126,5 stupnjeva | 126,2 ± 0,2 stupnja |
| Plamište | 17 stupnjeva (zatvorena posuda) | 17 stupnjeva (zatvorena posuda) | 17 stupnjeva (zatvorena posuda) |
| Metalne nečistoće | Nije navedeno | Pojedinačni ion Manje od ili jednako 10 ppm | Pojedinačni ion Manji od ili jednak 1 ppb (ppt razina za 14nm čvorove) |
| Rok trajanja | 6 mjeseci (N₂-zapečaćeno) | 12 mjeseci (N₂-zapečaćeno, tamno) | 18 mjeseci (ultra-clean N₂-zapečaćeno) |
| Pakiranje | Čelična bačva od 180 kg IBC torba od 1000 kg |
20L HDPE bačva 200L N₂-zatvorena čelična bačva |
10L bačva-obložena kvarcom Ultra-čelična bačva od 200L |
Sukladno GB/T 30301-2013, REACH & TSCA. COA, SDS/MSDS i izvješća o ispitivanju trećih strana dostupni su na zahtjev.
Upotreba i područja primjene HMDS-a
1. Poluvodička litografija - fotootporni promotor adhezije
HMDS je industrijski-standardpromotor prianjanja, temeljni premaz i hidrofobni premazu litografiji silicij pločice, računajući preko40% ukupne potrošnje HMDS-a. Primjenjen kao temeljni premaz za -fazu pare (VPP) prije premazivanja fotorezistom, HMDS reagira s površinskim hidroksilnim skupinama (Si–OH) na pločici kako bi formirao gusti hidrofobni trimetilsililni sloj. To dramatično poboljšava prianjanje fotootpornog materijala, sprječava ljuštenje otpornog materijala tijekom razvijanja i eliminira stvaranje rubnih perli - osiguravajući točan fini uzorak kruga do28n čvorovi i niže.
Kako napredni poluvodički čvorovi napreduju do 14nm, 7nm i dalje, zahtjevi za čistoćom eskalirali su na5N (99,999%) i 6N ocjene, s metalnim nečistoćama kontroliranim na razini ppb–ppt. Naši HMDS proizvodi -elektroničke razine koriste naprednu tehnologiju uklanjanja tragova metala, ispunjavajući standarde kvalifikacije vodećih tvornica uključujući SMIC, Yangtze Memory, Changxin Memory i UMC.
Referenca:SEMI standardi - Čistoća poluvodičkih materijala ↗
2. Farmaceutska industrija - Sililirajuće sredstvo za sintezu lijekova
U farmaceutskoj sintezi, HMDS se široko koristi kaosredstvo za sililiranjeza zaštitu reaktivnih protonskih funkcionalnih skupina (–OH, –NH₂, –COOH) u intermedijerima lijekova, sprječavajući neželjene nuspojave i značajno poboljšavajući selektivnost reakcije i prinos ciljnog proizvoda. To je ključni reagens u sintezi anti{1}}tumorskih, antivirusnih i antialergijskih aktivnih farmaceutskih sastojaka (API).
Naš farmaceutski -hMDS (veća ili jednaka 99,5% čistoće, GMP-kompatibilan) potvrđen je od strane vodećih farmaceutskih CDMO poduzeća i pruža stabilnu kvalitetu serije koja je neophodna za istraživanje i razvoj lijekova i-veliku proizvodnju.
Referenca:Farmakopeja Sjedinjenih Država (USP) ↗
3. Materijali i površinska obrada - Sredstvo za hidrofobizaciju
HMDS je vrlo učinkovitsredstvo za hidrofobizacijuza anorganska punila kao što su silicijev dioksid i titanijev dioksid. Modifikacija površine s HMDS-om značajno poboljšava kompatibilnost punila i matrice u kompozitima od silikonske gume i epoksidne smole, poboljšavajući mehanička svojstva (žilavost, vlačna čvrstoća) i otpornost na vremenske uvjete. Široko se koristi u materijalima za kapsuliranje OLED-a i obradi stakla fotonaponskih modula, gdje HMDS-modificirane površine pokazuju značajno poboljšane performanse barijere za vlagu, produžujući životni vijek u teškim vanjskim okruženjima.
Zapovršinska obrada stakla, keramike i metala, HMDS stvara gusti, kovalentno vezan hidrofobni film koji sprječava upijanje vlage i koroziju.
Referenca:PubChem - Heksametildisilazan (NIH) ↗
4. Analitička kemija i fine kemikalije
U analitičkoj kemiji, HMDS se koristi kaoreagens za derivatizacijuza GC analizu protičnih spojeva (alkoholi, fenoli, karboksilne kiseline). Sililirani derivati pokazuju veću hlapljivost i poboljšanu kromatografsku separaciju, omogućujući preciznu kvantitativnu analizu tragova tvari u složenim matricama.
U finim kemikalijama, HMDS služi kao intermedijer za-silikonske površinski aktivne tvari i silikonske smole koje se koriste u dnevnim kemikalijama i tiskanju tekstila. Predviđa se da će tržište elektroničkih-HMDS-ova rasti po CAGR-u od 18,3% do 2026., potaknuto ubrzanom lokalizacijom poluvodiča i širenjem farmaceutskih CDMO kapaciteta.
Referenca:ECHA REACH Registracija - HMDS ↗
5. HMDS kao baza - LiHMDS, NaHMDS & KHMDS
Osim svoje uloge sililirajućeg agensa, HMDS je ključni preteča široko korištenih baza metalnih amida:LiHMDS(litijev heksametildisilazid, litijev bis(trimetilsilil)amid),NaHMDS(natrij heksametildisilazid), iKHMDS(kalijev heksametildisilazid). Ove jake, ometene baze bitni su reagensi u farmaceutskoj i finoj kemijskoj sintezi za selektivnu tvorbu enolata, usmjerenu deprotonaciju i asimetrične reakcije gdje su prostorni volumen i kemoselektivnost kritični.
LiHMDS(CAS 4039-32-1) je najčešće korišten, cijenjen zbog svoje visoke bazičnosti (pKa ~30 u THF) i izvrsne topivosti u eterskim otapalima.NaHMDSiKHMDSnude povećanu reaktivnost i koriste se tamo gdje je LiHMDS nedovoljno reaktivan. Sva tri proizvedena su od HMDS-a kao ključnog početnog materijala, zbog čega je opskrba HMDS-om visoke-čistoće ključna za njihovu proizvodnju.
Isporučujemo HMDS visoke{0}}čistoće prikladan kao sirovina za proizvodnju LiHMDS, NaHMDS i KHMDS. Kontaktirajte nas za skupne specifikacije.
Kako se proizvodi HMDS? Proces proizvodnje
HMDS se komercijalno proizvodi putem dva primarna načina. Tradicionalniproces amonolize klorosilanareagira trimetilklorosilan (TMCS) s viškom amonijaka: 2 (CH₃)3SiCl + NH3 → (CH3)3Si–NH–Si(CH3)3 + 2 HCl. Nus{4}}proizvod HCl se neutralizira, a sirovi proizvod pročišćava više-stupanjskom rektifikacijom. Alternativatehnologija zelene transaminacijekoristi heksametildisiloksan (HMDSO) i amonijak pod katalitičkim uvjetima, smanjujući kloridne nus{0}}proizvode i utjecaj na okoliš.
Naši partneri proizvođači upravljaju proizvodnim linijama za kontinuiranu amonolizu s više{0}}stupanjskom rektifikacijom i sustavima za pročišćavanje adsorpcijom na molekularnom situ, pružajući dosljednu čistoću od serije do serije u svim stupnjevima.
HMDS skladištenje, stabilnost i sigurnosno rukovanje
Zahtjevi za skladištenje
Čuvati na hladnom (0–25 stupnjeva), suhom, dobro-prozračenomskladište{0}}otporno na eksplozijudaleko od izvora topline, otvorenog plamena i izravne sunčeve svjetlosti. Sva ambalaža mora biti-zapečaćena za izolaciju vlage i zraka - HMDS brzo hidrolizira u kontaktu s vlagom iz okoline. Industrijski stupanj: čelične bačve-zabrtvljene dušikom. Farmaceutski i elektronički razredi: bačve s ultra-čistim dušikom-zatvorene HDPE ili kvarcnim-obloženim bačvama (ISO 14644 čisto pakiranje za elektronički razred). Odvojeno od oksidansa i jakih kiselina uz minimalnu udaljenost od 20-stopa ili 30-minutnu barijeru s-ocjenom požara. Maksimalno slaganje: 2 sloja za čelične bačve od 180 kg. Opremite skladište rasvjetom otpornom na eksploziju i aparatima za gašenje požara na suhi prah ili CO₂.
Napomena o stabilnosti
HMDS je kemijski stabilan kada se skladišti na suhom i pod dušikom. Izloženost vlazi uzrokuje hidrolizu; izlaganje jakim kiselinama ili oksidansima može izazvati burne reakcije. Izbjegavajte produljeno izlaganje temperaturama iznad 30 stupnjeva kako biste spriječili ubrzano isparavanje.
Sigurnost i rukovanje (SDS / MSDS sažetak)
Potrebna OZO:Anti{0}}statička odjeća, rukavice od nitrilne gume (tro-slojne za-visokorizične operacije), kemijske zaštitne naočale, štitnik za lice i respirator za organske pare (SCBA za zatvorene prostore). Tijekom operacija zabranjeno jesti, piti ili pušiti.
Odgovor na izlijevanje:Odmah isključite izvore paljenja, evakuirajte uz vjetar. Izolirajte područje izlijevanja. Apsorbirati suhim pijeskom ili sodom - NE koristiti vodu. Prebacite apsorbirani materijal u zapečaćene spremnike za odlaganje. Ne ispuštati u kanalizaciju ili tlo.
Prva pomoć:Koža - skinuti kontaminiranu odjeću, prati sapunom i vodom 15 min ili više. Oči - ispirite vodom 15 minuta ili više, potražite liječničku pomoć. Udisanje - odmah premjestiti na svjež zrak. Gutanje - ne izazivati povraćanje; potražite hitnu medicinsku pomoć. Cijeli SDS/MSDS PDF dostupan je od našeg prodajnog tima.
HMDS cijena - 2025 Referenca tržišta
TheHMDS cijena(cijena heksametildisilazana) značajno varira ovisno o stupnju čistoće, specifikaciji pakiranja i količini narudžbe. Sljedeće su indikativne referentne cijene za 2025. godinu za-proizvod podrijetlom iz Kine (ex-tvornička baza):
Veći ili jednak 98,0%
Veći ili jednak 99,5%
Veći ili jednak 99,999% (5N)
Često postavljana pitanja o HMDS-u
P: Što znači HMDS? Što je puni oblik HMDS-a?
HMDS je kratica zaHeksametildisilazan- puni kemijski naziv je 1,1,1,3,3,3-heksametildisilazan, koji se također piše kao heksa metil disilazan. U kemiji, HMDS se posebno odnosi na ovaj organosilicijski spoj (CAS 999-97-3) sa strukturom (CH3)3Si–NH–Si(CH3)3. Napomena: "HMDS" se također koristi kao kratica u nepovezanim područjima (npr. medicinski, vojni ili poljoprivredni kontekst), ali u kontekstu kemije i proizvodnje poluvodiča, HMDS uvijek znači heksametildisilazan.
P: Za što se HMDS koristi u proizvodnji poluvodiča?
HMDS se koristi kao promotor adhezije parne -faze (primer) koji se nanosi na površine silikonskih pločica prije premazivanja fotorezistom. Reagira s površinskim Si–OH skupinama kako bi se formirao hidrofobni trimetilsilil monosloj, koji dramatično poboljšava prianjanje fotorezista, sprječava raslojavanje tijekom mokrog razvijanja i osigurava dimenzionalnu točnost finih uzoraka sklopova. To je standardni procesni materijal u gotovo svakoj tvornici silicijskih pločica na globalnoj razini, od naslijeđenih 200 mm do-vodećih 300 mm EUV litografskih linija.
P: Koja je razlika između industrijskog i elektroničkog HMDS-a?
Industrijska razina (veća ili jednaka 98,0%) prikladna je za površinsku obradu punila (pareni silicij, TiO₂), premaza i opće primjene sililiranja gdje tragovi metala nisu kritični. Elektronički stupanj (Veći od ili jednak 99,999%, 5N) zahtijeva pojedinačne metalne nečistoće ispod 1 ppb - obavezno za poluvodičku litografiju gdje bi sub-ppb metalna kontaminacija uzrokovala kvarove uređaja. Electronic Grade pakiran je u ultra-čistim ISO 14644 uvjetima u kvarcnim-obloženim ili certificiranim ultra-čeličnim bačvama, sa svakom šaržom priloženim punim ICP-MS izvješćem o tragovima metala.
P: Zašto HMDS reagira s vodom i kako ga treba čuvati?
HMDS sadrži Si–N–Si vezu koja je vrlo osjetljiva na hidrolizu: (CH3)3Si–NH–Si(CH3)3 + H2O → 2 (CH3)3SiOH + NH3. Oslobođeni amonijak stvara porast tlaka u zatvorenim spremnicima, a nastali heksametildisiloksan (HMDSO) kontaminira proizvod. Sve vrste stoga moraju biti pohranjene pod suhim dušikom u zatvorenim spremnicima, na 0-25 stupnjeva, daleko od izvora vlage. Otvorene spremnike treba odmah -začepiti i prekriti dušikom nakon svake upotrebe.
P: Što je HMDS i kako se razlikuje od HMDSO?
HMDS (heksametildisilazan, CAS 999-97-3) sadrži Si–N–Si vezu i aktivni je sililirajući reagens. HMDSO (heksametildisiloksan, CAS 107-46-0) sadrži Si–O–Si vezu i nusproizvod je hidrolize HMDS-a - daleko je manje reaktivan. HMDS se koristi kao kemijski površinski modifikator i sililacijski reagens; HMDSO se uglavnom koristi kao nereaktivna silikonska tekućina i sirovina za sintezu HMDS. To dvoje ne treba brkati kada se navode materijali za litografiju ili farmaceutske procese.
P: Koje certifikate trebam tražiti od dobavljača HMDS-a?
Za industrijske primjene: ISO 9001 (upravljanje kvalitetom) i ISO 14001 (okoliš). Za farmaceutsku razinu: usklađenost s GMP-om, mogućnost pružanja USP/EP-referentnog COA-a i QC izvješća treće-strane. Za elektroničku ocjenu: potvrda kvalifikacije tvornice poluvodiča nizvodno (npr. SMIC, UMC certifikati), usklađenost sa standardima SEMI F47 ili ekvivalentnih materijala, potpuno ICP-MS izvješće o tragovima metala po seriji i čisto pakiranje s certifikatom ISO 14644. Sve ocjene trebaju imati trenutne REACH i TSCA registracije za međunarodni izvoz.
P: Što se događa kada HMDS reagira s vodom?
HMDS brzo reagira s vodom putem hidrolize: (CH3)3Si–NH–Si(CH3)3 + H2O → 2 (CH3)3SiOH → (CH₃)3Si–O–Si(CH3)3 + NH3. Proizvodi su heksametildisiloksan (HMDSO) i amonijak. Ova reakcija je egzotermna i stvara plin amonijak, koji stvara tlak u zatvorenim spremnicima i smanjuje čistoću proizvoda. Zbog toga se svi HMDS stupnjevi - uključujući industrijske - moraju cijelo vrijeme skladištiti i rukovati pod suhim dušikom. Čak i vlažnost okoline može pokrenuti sporu hidrolizu tijekom duljeg razdoblja skladištenja.
P: Koje su glavne alternative HMDS-u i kada se HMDS preferira?
Uobičajene alternative za sredstva za sililiranje uključuju trimetilklorosilan (TMCS), N-metil-N-trimetilsililacetamid (MSA) i N,O-bis(trimetilsilil)acetamid (BSA). HMDS je poželjan kada su potrebni blagi reakcijski uvjeti (bez HCl nus-produkta), kada je visok prinos sililacije kritičan ili kada proces zahtijeva minimalnu kontaminaciju kiselim ili korozivnim nus-proizvodima - što ga čini standardnim izborom za obradu poluvodičkih pločica i farmaceutsku sintezu. Za masovnu industrijsku hidrofobizaciju gdje je trošak primarni pokretač, TMCS se može koristiti kao niža-troškovna alternativa.
Reference i standardi industrije
Sveobuhvatna fizikalno-kemijska svojstva, toksikološki podaci, GHS klasifikacije i regulatorne informacije.
Međunarodno tijelo za norme za specifikacije čistoće poluvodičkih materijala i kvalifikacijske protokole.
Službeni EU REACH dosje: klasifikacije opasnosti, scenariji izloženosti i regulatorni status.
Globalni autoritet za analitičke reagense i reagense visoke-čistoće; referentni standard za HMDS benchmarking kvalitete.
Zatražite ponudu · Tehničko savjetovanje
Zatražite HMDS cijene i podršku za proizvode
Isporučujemo industrijski, farmaceutski i elektronički HMDS (CAS 999-97-3) s konkurentnim cijenama i fleksibilnim pakiranjem. Obratite se našem timu za prilagođenu ponudu, SDS/MSDS ili upute za primjenu.
Povezani proizvodi: Trimetilklorosilan (TMCS) · Heksametildisiloksan (HMDSO) · Drugi organosilikonski intermedijeri
Popularni tagovi: heksametildisilazan, Kina proizvođači, dobavljači heksametildisilazana, Heksa metil disilazane, Formula propionil klorida, Molekulska masa propionil klorida, Sulfolane CAS, Točka taljenja sulfolana, Molekulska masa sulfolana
